在场几人中杨靖率先控制不住内心的激动,几乎是刚听到刘星的话便跨步上前,立刻将文件接过垂下视线仔细查看起来。
确认上面的芯片测试数据正如刘星说的那样,瑕疵率的确在合理范围后,再也抑制不住脸上涌现的喜悦。
整个身体似乎都在颤抖。
“是真的。”
“我们芯片的瑕疵率比海外公布的还要低的多。”
抬头喊这句话时丝毫没有控制情绪的打算,完全沉浸在这份高兴中。
芯片制造瑕疵率是很重要的指标,眼下瑕疵率不但在合理的范围内,甚至还要比海外制造的高端极紫外光刻机低的多。
这说明什么?
说明他们光电技术研究所制造的光刻机,各方面性能已然达到全球顶尖行列。
甚至光刻胶也远超霓虹那边的化学公司。
本来按照大家的想法,能够制造出国产极紫外光刻机已经是天大的喜事,结果其综合性能已经不单单是追赶海外水平。
配合国产新型光刻胶已然是超越了。
而很快杨靖突然回过神来,连忙把手中文件递给侯盛昌和罗长辉。
脸上有些不好意思的说:“侯院长你快看看。”
侯盛昌自然不会在意这点小事,依旧面带笑容伸手接过后移动目光认真观看。
旁边的罗长辉则探过脑袋。
约莫过去大半分钟的时间,侯盛昌这才重新抬起视线满脸欣慰。
把文件递给罗长辉后,颇为感慨的说:“能有今天的成绩大家辛苦了,晚上我请客吃饭庆祝。”
“有了这个结果,就算阿斯麦那边派人来交流学习也丝毫不慌了。”闻言罗长辉脸上堆着笑容说,同样对这份测试结果感到非常满意。
“能有这么低的瑕疵率确实超出预料,看来是徐教授的光刻胶出了大力啊。”
侯盛昌接过话茬边说边看向徐昀。
相比在场其他人的反应,徐昀无疑是最为平静的。
对这个结果并不感觉意外。
面对罗长辉递过来的测试结果,仅大致看了眼便重新交给刘星。
他心里清楚相比海外5纳米甚至3纳米芯片工艺的极紫外光刻机,眼前这台国产7纳米光刻机肯定是和海外存在些差距的。
之所以能有这么低的瑕疵率,估计就是他研发的新型高端光刻胶的缘故。
不管怎么说都是随机奖励中得到的,肯定要比霓虹那些好的多。
当然徐昀也明白单靠一天的数据并不能说明问题。
需要长时间的光刻得到总数据才行。
念头停留在这里他开口道:“想确定新型光刻胶的真实数据,接下来还需要不断光刻测试才行。”
“不过相信只要证明新型光刻胶的稳定,应该能够打开全球市场。”
他们这话可一点没错。
之前新型光刻胶刚出来的时候,因为没有长时间的使用数据,那些晶圆厂自然不敢随意尝试,哪怕这种新型光刻胶的
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